磁懸浮晶圓轉台

磁懸浮晶圓轉台
  • 技術難點:九自由度磁懸浮控制、金屬屏蔽感測技術

  • 技術積累:磁懸浮人工心臟感測技術、衛星姿態控制磁懸浮動量球技術

  • 研發速度:3個月完成研發、6個月量產

  • 行業地位:全自主研發,國際專利,全球唯一自由供應商,可依半導體製程需求客製化

  • 打破美國競品公司禁運

  • 打破競品公司數十年商業壟斷

  • 打破競品公司技術壟斷

  • 開拓應用:旋轉及高潔淨場域,如晶圓熱處理、沉積、鍍膜、旋塗與電鍍等

  • 應用場景:滿足半導體嚴苛工藝需求
  • 應用一:快速熱處理 
磁懸浮晶圓轉台 a

競品:美國應材獨家

  • 應用二:DPN
磁懸浮晶圓轉台 b

競品:美國應材

  • 應用三:單片晶圓清洗
磁懸浮晶圓轉台 c

競品:某瑞士公司獨家

  • 應用四:MoCVD
磁懸浮晶圓轉台 d

無競品